플라즈마 모델링 교육

본 교육은 다중물리현상 시뮬레이션 소프트웨어인 COMSOL Multiphysics V6.3을 이용하여 하루 동안 실습위주로 진행합니다. 물리현상을 시뮬레이션 하기 위한 전 과정을 COMSOL Multiphysics V6.3 그래픽 사용자 인터페이스(GUI)를 이용하여 진행합니다.

본 과정은 공정 플라즈마 분야와 관련된 모델 위주로 진행합니다. 지배식에 대한 이해와 함께 2차원 모델을 기반으로 형상 그리기, 물성 및 경계조건 입력, 격자 생성, 해석 및 결과 도출 그리고 후처리 등의 시뮬레이션 전 과정을 실습하게 됩니다.

예제파일/교육교재는 영상플레이어를 실행하면 화면 오른쪽 [자료실] 탭에서 다운로드 받으실 수 있습니다.

교육교재는 [고객센터] - [자료다운로드] 에서 다운로드 받으실 수 있습니다.

모델링교육 수강 기간은 결제완료일로 부터 7일간 입니다.

수강기간이 지나면 영상이 재생되지 않습니다.

Plasma 분야 소개 및 COMSOL Multiphysics를 활용한 Plasma 해석 사례 안내

Physics Interface 상세 기능

공정 플라즈마 모델링을 위해 Physics Interface에서 다양하게 제공하고 있는 기능들에 대해 설명하는 시간입니다.

공정 플라즈마 해석 관련 이론 및 지배식

공정 플라즈마 해석을 위한 COMSOL Multiphysics에서 사용하고 있는 이론 및 지배식 구성에 대해 설명하는 시간입니다.

모델 실습 1 (ICP 해석)

본 과정은 Ar 가스를 사용하는 Inductively Coupled Plasma(ICP) 2D 예제를 통한 전자밀도, 전자온도 및 전압분포 등과 같은 방전 특성 분석을 모델링 실습을 통해 알아보는 시간입니다. [Plasma, AC/DC Module 필요]

모델 실습 2 (CCP 해석)

본 과정은 Ar 가스를 사용하는 Capacitively Coupled Plasma(CCP) 2D 예제를 통한 전자밀도, 전자온도 및 전압분포 등과 같은 방전 특성 분석을 모델링 실습을 통해 알아보는 시간입니다. [Plasma Module 필요]

모델 실습 3 (Ar/Cl₂ mixture gas, ICP/CCP 모델링)

본 과정은 Ar과 Cl₂ 혼합가스를 사용하여 열과 유동을 고려한 ICP와 CCP가 결합된 2D 예제를 통한 전자밀도, 전자온도, 가스의 속도, 압력, 온도 등을 모델링 실습을 통해 알아보는 시간입니다. [Plasma, AC/DC Module 필요]

모델 실습 4 (Microwave Plasma 모델링)

본 과정은 H₂ 가스를 사용하여 열과 유동을 고려한 Microwave Plasma 2D 예제를 통한 전자밀도, 전자온도, 가스의 속도, 압력, 온도 등을 모델링 실습을 통해 알아보는 시간입니다. [Plasma, RF Module 필요]

COMSOL Multiphysics 기본교육 이수하신 분들에게 수강을 권장합니다.